真空應(yīng)用系統(tǒng)的幾個(gè)問題

1.真空元件，如閥門、進(jìn)氣管路、真空泵等相互連接時(shí)， 應(yīng)盡量做到抽氣管路短，管道直徑盡量不低于主泵入口直徑，并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統(tǒng)使用的一條重要原則。

2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料應(yīng)盡量采用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中的無縫鋼管和板材，并盡量減少焊縫數(shù)目，用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼（A3 鋼）。尤其需要注意的是：接入真空系統(tǒng)的管路應(yīng)當(dāng)清理干凈，并且接入的管路壁厚不應(yīng)當(dāng)過薄，過薄的管路在粗真空條件下進(jìn)行抽氣作業(yè)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較強(qiáng)的共振。

3.真空系統(tǒng)操作規(guī)則:

a. 起動(dòng)機(jī)械泵時(shí)，首先要保證轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)方向正確，而且油位合乎要求。

b. 油封機(jī)械泵停止后，立即將機(jī)械泵入口通大氣。因泵內(nèi)真空會(huì)使泵油進(jìn)入系統(tǒng)中。

c. 盡量不要用機(jī)械泵把高真空室直接抽至低于10Pa（0.1Torr）壓強(qiáng)，否則機(jī)械泵的油蒸氣會(huì)進(jìn)入高真空室。因?yàn)樵趬簭?qiáng)低于10Pa 時(shí)，會(huì)出現(xiàn)分子性氣流，油分子將會(huì)返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下，則應(yīng)當(dāng)設(shè)置油分子捕集器。

d. 不應(yīng)當(dāng)使機(jī)械泵在大氣壓強(qiáng)下或者較高壓強(qiáng)下連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作，否則電機(jī)會(huì)過熱，而且泵會(huì)噴出油霧。

e. 在擴(kuò)散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下的泵油氧化。

f. 使用電離計(jì)時(shí)，應(yīng)當(dāng)在壓強(qiáng)達(dá)到0.1 Pa 以下時(shí)再起動(dòng)電離真空計(jì)，以防止電離計(jì)燒毀。

g. 高真空系統(tǒng)系統(tǒng)需要停止使用時(shí)，盡量將真空室及主泵在真空狀態(tài)下封存，以縮短下一次使用時(shí)的抽氣時(shí)間。

h. 系統(tǒng)冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤，過低的壓力會(huì)造成冷卻水流通不暢，過高的壓力會(huì)導(dǎo)致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內(nèi)的油在添加時(shí)一定要使用1#真空油。